Horno tubular multizona CVD con cabina de control de gas

• Tmáx：1200℃
• Termopar tipo K/S/B
• Material del tubo：Tubo de acero inoxidable / Tubo de vidrio de cuarzo / Tubo de alúmina
• Elementos calefactores eléctricos: Alambre de resistencia de aleación de alta temperatura/SIC/MoSi₂
• Los elementos calefactores se instalan rodeando el tubo del horno horizontalmente.Precisión de control de temperatura:±1℃
• Uniformidad de temperatura: Dentro de ±5°C （El método de control de temperatura depende del tamaño de la cámara del horno. Para cámaras de horno grandes, se puede adoptar el control multipunto para lograr una mejor uniformidad de la temperatura.）
• Ritmo de calentamiento：Ajustable de 40°C por minuto (más rápido, no lineal) a 1°C por hora (más lento, no lineal).
• Nivel de vacío: -0,1 MPa (admite múltiples gases: O₂, N₂, Ar, H₂, etc.)
• Brida:< Brida de acero inoxidable 304 de doble junta tórica KF
• Entradas de gas:< 2 tipos (ampliables a 1-10)
• Mezcla de gases:< Ajustable mediante caudalímetros individuales
• Válvulas: Válvulas de acero inoxidable importadas (opciones: estándar, acero inoxidable, solenoide)
• Caudalímetros: Dos 0-300 mL/min (opciones: caudalímetros másicos, caudalímetros de tipo flotador)
• Monitorización de la presión:< Manómetro de doble rango (presión positiva/negativa) (manómetro de vacío digital opcional)
• Bomba de vacío:< Bomba rotativa de paletas de dos etapas (2 L/min)
• Suministro de gas:< Tubería PV (tubería de acero inoxidable limpia opcional para aplicaciones de alta pureza)
• Sistema de protección contra sobrepresión
  Previene automáticamente los peligros de puertos de escape bloqueados/cerrados o de una presión excesiva del horno. Cuando se detecta (mediante sensor de presión o manómetro de contacto), el sistema: Cierra la válvula de admisión. 2. Activa la válvula de escape & alarma. 3. Garantiza un funcionamiento seguro del horno.
• Protección de seguridad contra fugas de gas: Supervisión en tiempo real con apagado automático, activación del escape y ventilación si los niveles de gases peligrosos superan los umbrales de seguridad
• Revestimiento del horno está fabricado con material ligero de alúmina de alta pureza formado al vacío (reforzado con placas de bolas huecas de alúmina en las zonas de impacto-boca/base) para una resistencia extrema al calor, un almacenamiento mínimo de calor y durabilidad frente a los choques térmicos (sin grietas/desprendimientos).
• Carcasa ventilada de doble carcasa fabricada en acero al carbono para una baja temperatura superficial (45℃) y una gran estabilidad
• Característica de seguridad:El circuito de calefacción principal se desconecta automáticamente cuando la puerta se abre a altas temperaturas.
• Por la integración del control PID con la tecnología SCR, control preciso de la temperatura con protección de seguridad integral.
• Configuración del programa de control de temperatura de 50 segmentos：1 curva = 50 segmentos；2 curvas = 28 segmentos/curva; 3 curvas = 15 segmentos/curva; 5 curvas = 9 segmentos/curva.
• Carcasa revestida en RAL 7035
• Interfaz de comunicación RS485 RS232 USB
• Tiempo de entrega：Tamaños estándar: en 7 días；Cámara personalizada: 7-15 días
• Garantía：1 año de garantía gratuita para el horno； Tubos y elementos calefactores no cubiertos； Elementos calefactores: sustitución gratuita en 3 meses si se dañan de forma natural.
• Accesorios: Elementos calefactores ×2,Kits de montaje de elementos calefactores ×2, Manual de instrucciones ×1, Certificado de conformidad ×1, Crisol especial para horno tubular ×1, Tapones de aislamiento térmico ×2, Anillos de sellado (juntas tóricas) ×2

Equipamiento Adicional

• Puerta levadiza：Apertura neumática de la puerta, controlada por pedal, con superficie caliente en dirección opuesta al operador.
• Pantalla táctil: Menú multilingüe, almacenamiento de múltiples curvas de proceso de aumento de temperatura, almacenamiento de curvas históricas e informes de datos (7 pulgadas).
• Control por ordenador: Controla el arranque del horno, pausa, parada, almacena curvas históricas, establece curvas de aumento de temperatura, lee curvas de aumento de temperatura, establece parámetros, etc.
• Control PLC Siemens: Lectura de datos en tiempo real con puertos abiertos para la comunicación de datos con equipos aguas arriba y aguas abajo.
• Sistema de suministro de gas manual o automático
• Ventana de observación: Diseñada en la puerta del horno con cristal de cuarzo resistente a altas temperaturas.
• Ruedas móviles: Dos ruedas giratorias y dos ruedas fijas.
• Enfriamiento rápido: Conseguido con un variador de frecuencia y un ventilador centrífugo para el control programable de la refrigeración.
• Rack de descarga rápida: El rack de material está fabricado en acero de alta temperatura, con ladrillos refractarios de alta resistencia al desgaste en la parte superior, lo que permite una rápida
• transferencia de materiales desde el horno a una plataforma externa en entornos de alta temperatura.
• Control de temperatura multipunto: Control de temperatura independiente en múltiples lados para mejorar la uniformidad de la temperatura.
• Cámara de horno de alta temperatura con calentamiento en múltiples lados para una muy buena uniformidad de la temperatura.
• Ventilador agitador: Ventilador agitador metálico, puede vincularse con PLC para arrancar automáticamente en segmentos de temperatura designados.
• Cabina de control independiente: Armario de control independiente con una longitud de cable de control extendida (hasta 5 metros).
• Fondo del horno de almacenamiento de calor: El fondo del horno se hunde 50 mm con un diseño hueco, apoyado por múltiples columnas verticales, aumentando Placa de carga de cerámica y garantizar una distribución uniforme del calor en la parte inferior.
• Tratamiento de gases de escape: Añade VOC horno de tratamiento de gases de escape con una capacidad de 40m³,H o 80m³,H.
• Revestimiento del horno resistente a la corrosión: Material de revestimiento del horno resistente a los ácidos, álcalis y a la corrosión por ácido fluorhídrico.
• Protección de los elementos calefactores: Evita la contaminación por polvo y la corrosión por sustancias volátiles y arañazos.
• Revestimiento del horno limpio: Revestimiento del horno hecho de cerámica, vidrio de alta temperatura y metales de alta temperatura para evitar el polvo y las sustancias volátiles.
• Limitador de sobretemperatura con temperatura de corte ajustable como limitador de temperatura para proteger el horno y la carga
• Estanterías de carga personalizables según los requisitos, para cargar el horno en dos niveles.